Ebook: Mikromechanik: Einführung in Technologie und Anwendungen
- Tags: Engineering general
- Series: Teubner Studienbücher Angewandte Physik
- Year: 1991
- Publisher: Vieweg+Teubner Verlag
- Edition: 2
- Language: German
- pdf
Content:
Front Matter....Pages 1-15
Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik....Pages 17-20
Werkstoffe der Mikromechanik....Pages 21-44
Reinraumtechnik....Pages 45-55
Technologie der Mikromechanik....Pages 56-143
Meßmethoden....Pages 144-161
Anwendungen der Mikromechanik....Pages 162-214
Mikrosystemtechnik....Pages 215-220
Back Matter....Pages 221-240
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