Ebook: Silizium-Halbleitertechnologie
- Tags: Engineering general
- Series: Teubner Studienskripten (TSS)
- Year: 1996
- Publisher: Vieweg+Teubner Verlag
- Edition: 1
- Language: German
- pdf
Content:
Front Matter....Pages N2-XI
Einleitung....Pages 1-3
Herstellung von Siliziumscheiben....Pages 4-22
Oxidation des dotierten Siliziums....Pages 23-35
Lithografie....Pages 36-54
?tztechnik....Pages 55-77
Dotiertechniken....Pages 78-105
Depositionsverfahren....Pages 106-124
Metallisierung und Kontakte....Pages 125-138
Scheibenreinigung....Pages 139-148
MOS-Technologien zur Schaltungsintegration....Pages 149-177
Erweiterungen zur H?chstintegration....Pages 178-213
Bipolar-Technologie....Pages 214-226
Montage Integrierter Schaltungen....Pages 227-253
Back Matter....Pages 254-281
Content:
Front Matter....Pages N2-XI
Einleitung....Pages 1-3
Herstellung von Siliziumscheiben....Pages 4-22
Oxidation des dotierten Siliziums....Pages 23-35
Lithografie....Pages 36-54
?tztechnik....Pages 55-77
Dotiertechniken....Pages 78-105
Depositionsverfahren....Pages 106-124
Metallisierung und Kontakte....Pages 125-138
Scheibenreinigung....Pages 139-148
MOS-Technologien zur Schaltungsintegration....Pages 149-177
Erweiterungen zur H?chstintegration....Pages 178-213
Bipolar-Technologie....Pages 214-226
Montage Integrierter Schaltungen....Pages 227-253
Back Matter....Pages 254-281
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