Online Library TheLib.net » Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
cover of the book Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения

Ebook: Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения

00
27.01.2024
0
0
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также для научных работников и инженеров.
Download the book Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения for free or read online
Read Download
Continue reading on any device:
QR code
Last viewed books
Related books
Comments (0)
reload, if the code cannot be seen