Ebook: Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения
- Genre: Физика
- Year: 1995
- Publisher: Изд-во МФТИ
- Language: Русский
- djvu
Дано исчерпывающее изложение современного состояния знаний о высокочастотном разряде емкостного типа. Рассмотрена физика разрядных процессов, техника и практические методы эксперимента, диагностики, измерений при работе с высокочастотными разрядами, теория и численное моделирование разрядного процесса. Приведены важнейшие практические приложения: для создания активной среды лазеров (разряды среднего давления), плазменной и ионной обработки полупроводниковых материалов, используемых в электронике (разряды низкого давления). Для студентов и аспирантов физических и соответствующих инженерных специальностей вузов, а также для научных работников и инженеров.
Download the book Высокочастотный емкостный разряд. Физика. Техника эксперимента. Приложения for free or read online
Continue reading on any device:
Last viewed books
Related books
{related-news}
Comments (0)