Ebook: Катодолюминесценция полупроводников в узких электронных пучках в сканирующем электронном микроскопе

Рассмотрены процессы взаимодействия электронного зонда растрового электронного микроскопа с полупроводниковыми и диэлектрическими объектами и возникновение светового излучения - катодолюминесценции. Обсуждаются возможности и информативность методики при анализе твердого тела