Ebook: Радиационные методы в твердотельной электронике

В монографии рассмотрены радиационные методы, применяющиеся в технологии изготовления, а также на разных стадиях исследования и эксплуатации микроэлектронных приборов. Показаны возможности расширения сферы применения этих методов на всех этапах изготовления и эксплуатации приборов.

Раскрыты физические механизмы, лежащие в основе радиационных методов, применяемых в микроэлектронике.