Ebook: Технология наноструктур: учебное пособие для вузов

Учебное пособие посвящено основам технологических процессов получения наноструктур, исследованию их свойств, изготовлению изделий из них и применению наносистем. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по специальности «Физика конденсированного вещества» и специализирующихся по кафедре «Физика твердого тела и наносистем», а также может быть рекомендовано для студентов, аспирантов, слушателей групп повышения квалификации и переподготовки специалистов в области получения и исследования наносистем.