Ebook: Современные технологии изготовления трехмерных электронных устройств: Учеб. Пособие

С развитием высоких технологий становится реальным выпуск трехмерных электронных
устройств (ТЭУ), в том числе микронных и субмикронных многослойных схем. На основе классификации формирования ТЭУ на плоских (2D) и квазиобъемных (квази-3D) подложках рассмотрены основные принципы и характеристики технологий плоской печати. Сделан вывод о невозможности изготавливать по этим технологиям объемные структуры сложной
формы в непрерывном технологическом цикле, а также проанализированы возможности современных технологий для производства ТЭУ. Классификация данных технологий по
физическому принципу воздействия на конструкционный материал и выявление их общих недостатков показали, что использование данных технологий не позволяет эффективно
формировать многослойные сложные 3D-объекты.
Решением данной задачи являются еще только разрабатываемые гибридные технологии,
названные в данной работе квази-4D-технологиями формирования ТЭУ, так как в настоящее
время они находятся лишь в стадии разработки (являются пред-4D-технологиями или
3D+-технологиями), практически не обеспечены необходимыми материалами и элементной
базой, но имеют потенциальные возможности для создания полноценных 4D-объектов.
Первым шагом к созданию квази-4D-технологий формирования ТЭУ является внедрение 3D
MID-технологий. Проведен сравнительный анализ возможностей различных 3D MID-технологий
формирования ТЭУ, выявлены недостатки данных технологий и приведены примеры их
реализации в промышленности.
В то же время, исходя из возможностей современных технологий, создана классификация
4D-объектов (способных менять свою форму или структуру после их создания в зависимости
от внешних условий, например при изменении температуры, при механическом воздействии
и т.д.) ТЭУ и технологий для их формирования.
Данное учебное пособие является первой книгой по технологиям изготовления, сканирова-
ния и визуализации трехмерных электронных устройств. Во второй книге будут рассмотрены
технологии сканирования трехмерных электронных устройств различных диапазонов, в том
числе нанометрового диапазона. Отдельный раздел второй книги будет посвящен возможно-
стям изготовления трехмерных электронных устройств нанометрового диапазона с примене-
нием методов сканирующей микроскопии. Третья книга будет посвящена технологиям
визуализации (средствам отображения информации) для контроля параметров ТЭУ, создания
новых ТЭУ и технологий реинжиниринга ТЭУ.
Учебное пособие может быть рекомендовано бакалаврам и магистрам высших учебных заведений