Ebook: Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 2. Применение лазерных и электронных пучков для обработки поверхности материалов

Рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие лазерных и электронных пучков с твердыми телами, анализируются решения тепловых задач для случаев их взаимодействия с металлами и полупроводниками, приводятся примеры конкретного решения задач для обработки поверхности металлов закалкой, поверхностным легированием, примеры лазерного отжига полупроводников и др. Предназначено для студентов, обучающихся по специальностям 5401, 0709 и 0710.