Online Library TheLib.net » Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие
cover of the book Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие

Ebook: Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие

00
27.01.2024
0
0
Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности ''Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники'' и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях
Download the book Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие for free or read online
Read Download
Continue reading on any device:
QR code
Last viewed books
Related books
Comments (0)
reload, if the code cannot be seen