Ebook: Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие
- Genre: Физика // Физика плазмы
- Tags: Физика, Физика плазмы
- Year: 2006
- City: Иваново
- Language: Русский
- pdf
Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности ''Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники'' и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях
Download the book Вакуумно-плазменные процессы и технологии: Учебное пособие for free or read online
Continue reading on any device:
Last viewed books
Related books
{related-news}
Comments (0)