Основы синтеза наносистем: учебное пособие - А. А. Теплоухов Н. А. Семенюк Д. А. Полонянкин,Минобрнауки России Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования &quot,Омский государственный технический университет&quot,