Ebook: Интегральные схемы: Материалы, приборы, изготовление

Пер. с английского. — М.: Мир, 1985. — 501 с., ил.В книге американских специалистов рассматриваются методы введения примесей в полупроводники, выращивания эпитаксиальных пленок. Излагаются теория и свойства диодов, биполярных и полевых транзисторов. Подробно описываются процессы производства интегральных схем и их испытания.
Для специалистов в области электронной техники и студентов соответствующих специальностей вузов.