Ebook: Снижение содержания макрофракций в вакуумно-дуговом осаждении покрытий

Препринт НИИЭФА П-0998, СПб.: ФГУП НИИЭФА им. Д.В. Ефремова, 2009, 55 с.Приведены краткий обзор современного состояния проблемы, методика расчёта и описание конструкции модульного 30/60/90 электромагнитного фильтра для вакуумно-дуговых источников плазмы, а также экспериментальные результаты исследования параметров системы источник – фильтр. Включены также некоторые результаты исследования работы катодно-дуговых источников с магнитной стабилизацией дугового разряда. Представлены примеры исследовательских и промышленных установок.