Online Library TheLib.net » Технологии структур КНИ
Суворов А.Л., Богданович Б.Ю., Залужный А.Г., Графутин В.И., Калугин В.В., Нестерович А.В., Прокопьев Е.П., Тимошенков С.П., Чаплыгин Ю.А.
М.: МИЭТ. 2004. - 407 с.
Рассматриваются различные технологии изготовления и методы исследования структур КНИ ("кремний на изоляторе").
Наиболее широкое применение структуры КНИ находят в процессах получения высоковольтных ИС, изготавливаемых по биполярной и смешанной технологиям; высокоскоростных КМОП схем; радиационно-стойких ИС; оптоэлектронных микросхем; низкоэнергопотребляющих схем, а также при изготовлении интегрально-оптических приборов, сенсоров и микроэлектромеханических систем (МЭМС).
Для научных работников и инженеров, а также для аспирантов, магистров и студентов старших курсов высших учебных заведений.
Оглавление
Технология прямого сращивания пластин кремния и технологические маршруты
изготовления структур КНИ
Химическая обработка поверхности полупроводниковых пластин в процессе изготовления многослойных структур и микроэлектронных изделий
Проблема прямого сращивания материалов: силы взаимодействия и поверхностные явления на границе раздела
Технология прямого сращивания пластин кремния с использованием химической сборки поверхности методом молекулярного наслаивания
Получение структур КНИ с использованием методов химической обработки и сращивания кремниевых пластин
Исследование процессов синтеза мелкодисперсных порошков оксидов, синтеза диэлектрического стекловидного материала SiO2–Al2O3–BaO в высокочастотной индукционной плазме и получения пористого кремния
Результаты исследований полученных структур КНИ
Определение параметров и исследование свойств структур КНИ
Исследование процесса имплантации ионов в полупроводники и полупроводниковые структуры методом пучковой позитронной аннигиляционной спектроскопии
Возможные синергетические подходы к проблемам электронного материаловедения
Применение метода позитронной аннигиляционной спектроскопии для исследования дефектов структуры твердого тела
Download the book Технологии структур КНИ for free or read online
Read Download
Continue reading on any device:
QR code
Last viewed books
Related books
Comments (0)
reload, if the code cannot be seen