Ebook: Вакуумная дуга в эрозионных источниках плазмы

Харьков: ННЦ ХФТИ, 2005. — 212 с.
300 dpi, ч/б, постранично, распознаноВ монографии систематизированы результаты Исследований автора с сотрудниками в области формирования потоков металлической плазмы, которая генерируется катодными пятнами дугового разряда в вакууме и газовой среде низкого давления. Рассмотрены способы зажигания и стабилизации разряда в технологических плазменных источниках. Приведены данные об эрозии катода, ее капельной, паровой и ионной составляющих, о зарядовом составе и энергетическом спектре ионной компоненты, о ее взаимодействии с газовой мишенью. Рассмотрены способы формирования диаграммы направленности плазменных потоков и механизмы транспортировки плазмы в прямолинейных и криволинейных магнитоэлектрических плазмсведущих каналах. Описаны наиболее распространенные фильтрующие системы для очистки плазмы от микрочастиц материала эродирующего катода.
Книга рассчитана на научных работников и специалистов, занимающихся исследованиями и разработками в области плазменных источников, а также вопросами их применения для осаждения покрытий и поверхностного модифицирования материалов.
Книга содержит 128 рисунков, 5 таблиц, 315 библиографические ссылки.