Ebook: Лекции по технологии микро-электронных устройств
Author: Рыжиков И.В.
- Genre: Техника // Приборостроение
- Tags: Приборостроение, Конструирование и технология производства РЭА
- Language: Русский
- pdf
МГУПИ, Россия, Рыжиков И.В., 2012 г., 113 стр.
История развития микро-электронных устройств.
Диэлектрические пленки.
Диффузия.
Методы эпитаксии.
Фотолитографический процесс.
Физико-химические основы процесса ионного легирования.
Плазмо-химическое травление и технология ИМС.
История развития микро-электронных устройств.
Диэлектрические пленки.
Диффузия.
Методы эпитаксии.
Фотолитографический процесс.
Физико-химические основы процесса ионного легирования.
Плазмо-химическое травление и технология ИМС.
Download the book Лекции по технологии микро-электронных устройств for free or read online
Continue reading on any device:
Last viewed books
Related books
{related-news}
Comments (0)