Ebook: Направления развития безмасляных средств вакуумной откачки

ФГУП Научно-исследовательский институт вакуумной техники им. С. А. Векшинского, 2009. - 6 с.: ил.
В обзоре рассмотрено современное состояние и тенденции развития безмасляных вакуумных насосов: форвакуумных (когтевых, винтовых, многоступенчатых насосов Рутса) и высоковакуумных (турбомолекулярных, криогенных и магниторазрядных).
Отмечается, что применение безмасляных средств откачки позволяет добиться более высокого уровня качества продукции в ряде отраслей промышленности, в частности, в микроэлектронике. Рассматриваются особенности распределения рынка безмасляных средств откачки между рядом ведущих производителей вакуумных насосов: Busch, Ebara, Edwards, Hanbell, Kashiyama, Leybold, Pfeiffer, Shinko Seiki, Ulvac, Adixen, Iwata, Osaka Vacuum, Shimadzu, CTI Cryogenics и других.СодержаниеФорвакуумные средства откачки
Высоковакуумные средства откачки
Тенденции развития потребителей безмасляного вакуумного оборудования
Литература