Ebook: Рентгеновская структурная диагностика в исследовании приповерхностных слоев монокристаллов

М.: Наука. Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.— (Проблемы науки и технического прогресса).—96 с. Изложены основные идеи физики дифракции рентгеновских лучей, направленные на создание методов анализа кристаллической структуры тончайших приповерхностных слоев и границ раздела кристаллов высокой степени совершенства, в первую очередь полупроводниковых кристаллов, являющихся основой современной микроэлектроники.