Ebook: Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів

Навчальний посібник. - Суми: Вид-во СумДУ, 2007.-264 с. У навчальному посібнику розглянуті питання будови та принципу роботи електронно-променевих і спектральних приладів, таких, як просвічуючі та растрові електронні мікроскопи, електронографи, рентгенівські апарати, прилади мікрорентгенівського аналізу, оже-електронної спектроскопії та вторинно-іонної мас-спектрометрії. Викладені експериментальні методи дослідження кристалічної будови та хімічного й елементного складу плівкових матеріалів.
Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом Електронні пристрої та системи.