Ebook: Методы формирования тонкоплёночных структур
Author: Березин В.М.
- Genre: Техника // Электроника
- Tags: Приборостроение, Физические основы электроники (ФОЭ)
- Language: Русский
- pdf
Учебное пособие. - Челябинск, ЮУрГУ, 2010. – 96 с.Рассмотрены методы формирования тонких плёнок. Описаны особенности формирования тонких плёнок термовакуумным, ионным, молекулярно-лучевой эпитаксией, химическими и электрохимическими методами.Учебное пособие предназначено для студентов физического и приборостроительного факультетов, а также может быть полезно аспирантам и специалистам, занимающимся тонкоплёночными технологиями.
Download the book Методы формирования тонкоплёночных структур for free or read online
Continue reading on any device:
Last viewed books
Related books
{related-news}
Comments (0)