Ebook: Силициды для СБИС

М.: Мир, 1986.- 176с.В книге известного американского специалиста в области технологии микроэлектроники рассмотрены и обобщены результаты исследований электрических, термодинамических и механических свойств силицидов - соединений кремния с переходными металлами. Описываются методы использования силицидов в технологии при создании полупроводниковых электронных приборов. В книге содержится большой объем тщательно систематизированного экспериментального материала.
Для широкого круга специалистов в области полупроводниковой техники и материаловедения, а также студентов и аспирантов.