Ebook: Лекции и практические задания по курсу Микроэлектромеханика

Рассматриваются базовых принципов функционирования и
конструирования механических и электромеханических элементов и устройств, реализуемых на микроуровне, а также основные технологии изготовления микроустройств. (Показаны основные маршруты изготовления, используемые в современных производствах)