Ebook: Формирование гетероструктур наноприборов методом МЛЭ

Настоящее издание соответствует учебной программе курса «Специ) альные технологические методы в нанотехнологии». Рассматриваются методы выращивания 2D)наноструктур (наносло) ев), 1D)наноструктур (нанонитей) и 0D)наноструктур (наночастиц) с по) мощью молекулярно)лучевой эпитаксии для их применения в нано) приборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6)го курса приборостроительных специальностей.;Гриф:Рекомендовано Научно методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия