Ebook: Магнетронные распылительные системы. Часть 1. «Устройство, принципы работы, применение»

Рассмотрены устройство, принцип работы и основные характери- стики магнетронных распылительных систем (МРС). Изложены фи- зические процессы и особенности работы МРС. Перечислены основ- ные типы и конструктивные схемы МРС. Дан пример конструкции МРС с электромагнитной системой. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Плазменные энергетические установки», а также для аспирантов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием МРС.;Гриф:Рекомендовано Научно-методическим советом МГТУ им. Н.Э. Баумана в качестве учебного пособия по курсу «Технологические ионно-плазменные установки»