Ebook: MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Author: Dr.-Ing. Markus Glück (auth.)
- Tags: Engineering general, Electronics and Microelectronics Instrumentation
- Year: 2005
- Publisher: Vieweg+Teubner Verlag
- Language: German
- pdf
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